供應等離子刻蝕機真空泵 中國臺灣進(jìn)口旋片泵

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供應等離子刻蝕機真空泵 中國臺灣進(jìn)口旋片泵
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【等離子刻蝕機真空泵工作原理】
    等離子刻蝕機，又叫等離子蝕刻機、等離子平面刻蝕機、等離子體刻蝕機、等離子表面處理儀、等離子清洗系統等。等離子刻蝕，是干法刻蝕中zui常見(jiàn)的一種形式，其原理是暴露在電子區域的氣體形成等離子體，由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體，從而形成了等離子或離子，電離氣體原子通過(guò)電場(chǎng)加速時(shí)，會(huì )釋放足夠的力量與表面驅逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。某種程度來(lái)講，等離子清洗實(shí)質(zhì)上是等離子體刻蝕的一種較輕微的情況。進(jìn)行干式蝕刻工藝的設備包括反應室、電源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反應室。氣體被導入并與等離子體進(jìn)行交換。等離子體在工件表面發(fā)生反應，反應的揮發(fā)性副產(chǎn)物被真空泵抽走。等離子體刻蝕工藝實(shí)際上便是一種反應性等離子工藝
離子清洗刻蝕技術(shù)是等離子體特殊性質(zhì)的具體應用。等離子清洗刻蝕機產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個(gè)電極形成電場(chǎng)，用真空泵實(shí)現一定的真空度，隨著(zhù)氣體愈來(lái)愈稀薄，分子間距及分子或離子的自由運動(dòng)距離也愈來(lái)愈長(cháng)，受電場(chǎng)作用，它們發(fā)生碰撞而形成等離子體，這些離子的活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵，在任何暴露的表面引起化學(xué)反應
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等離子刻蝕機真空泵 中國臺灣進(jìn)口旋片泵主要特點(diǎn)
1.半導體工業(yè)用真空泵和系統.
2.科研儀器,真空加工用途真空泵和系統.
3.排氣控制.污水處理系統,氣體處理系統.
產(chǎn)品應用領(lǐng)域：PCB板業(yè)，半導體行業(yè)，CCL行業(yè)，SMT行業(yè)，光電機械，化工行業(yè)等。
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